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萬級微電子潔凈廠房設計施工

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萬級微電子潔凈廠房設計施工.得創凈化工程專業從事電子潔凈廠房工程規劃,設計,施工一條路凈化工程公司,歡迎來電咨詢:027-82289886
電子廠建造一個潔凈廠房,需要保證車間的無塵標準,嚴格按照施工要求去執行,首先保證車間內的施工順序,其次施工過程中需要及時的清掃灰塵,清除角落的雜質,保證車間內的密封性,防止異物進入。在裝修潔凈廠房時,要注意車間內的送風潔凈度,對車間內需要定制進行通風換氣,保證車間內的氣流組織及潔凈壓差等,下面詳細的為大家介紹下。

萬級電子潔凈廠房美國宇航局標準NHB5340.2中的潔凈等級

美國宇航局標準NHB5340.2中的潔凈等級


生物

潔凈

標準

塵埃

生物粒子

壓力

溫度

濕度

氣流

照度

粒徑

(μm)

個/L

浮游量

(個/L)

浮沉量

(個/m2周)

mmH2O


%

換氣

次數

Lx

100

≥0.5

≤3.5

≤0.0035

12900

≥1.25

指定數

40~45

 

1000~1620

10000

≥0.5

≥5.0

≤350

≤2.3

≤0.0176

64600

≥1.25

 

100000

≥0.5

≥5.0

≤3500

≤23

≤0.0884

323000

≥1.25

 



 

電子潔凈廠房標準 電子潔凈廠房標準
   

萬級電子潔凈廠房設計依據

《潔凈室施工及驗收規范》            (JGJ71-90)

《通風與空調工程施工》              (GB50243-2002)

《采暖通風與空氣調節設計規范》      (GB50019-2003)

《通風空調風口設計規范》

《凈化車間設計規范》                (GB 50457)

《潔凈室施工及驗收規范》            (GB/T 16292)

《潔凈廠房設計規范》             (GBJ50073-2001)

《潔凈室施工及驗收規范》     (JGJ71-90)

《暖通風與空氣調節設計規范》     (GBJ19-87)

《建筑設計防火規范》             (GBJ16-87)

《工業企業噪聲控制設計規范》     (GBJ87-85)

《工業企業照明設計標準》         (GB50034-92)

電子潔凈廠房設計 電子潔凈廠房設計
   

萬級電子潔凈廠房空調系統的設計

1 空氣潔凈度十萬級及高于十萬級的空氣凈化處理,應采用初效、 中效、 高效過濾器三級過濾。 對于十萬級空氣凈化處理,也可采用亞高效空氣過濾器代替高效過濾器。 低于十萬級的空氣凈化處理,應采用初效、 中效過濾器二級過濾?!?br /> 2 空氣過濾器的選用、 布置方式: 
a、 初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器; 
b、 中效空氣過濾器且集中設置在凈化空氣調節系統的正壓段; 
c、 高效或亞高效空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節系統的末端。 
3 下列情況的空氣凈化系統宜分開設置: 
a、 單向流潔凈廠房與非單向流潔凈廠房; 
b、 高效空氣凈化系統與中效空氣凈化系統; 
c、 運行班次和使用時間不同的潔凈廠房; 
4 下列情況的空氣凈化系統,如經處理仍不能避免交叉污染時, 則不應利用回風。 
a、 固體物料的粉碎、 稱量、 配料、 混合、 制粒、 壓片、 包衣、灌裝等工序; 
b、 固體口服制劑的顆粒、 成品干燥設備所使用的凈化空氣; 
c、 用有機溶煤精制的原料藥精制、 干燥工序; 
d、 凡工藝過程中產生大量有害物質, 揮發性氣體的生產工序; 
5 對面積較大空氣潔凈度較高,位置集中及噪音、 振動控制要求嚴格的潔凈廠房宜采用集中式凈化空調系統?!?br /> a、 需要消毒滅菌的潔凈廠房,應設排風設施?!?br /> b、 潔凈廠房排風系統應有防倒灌措施。 
c、 含有易燃、易爆物質局部排風系統應有防火、 防爆措施。 
d、 潔凈廠房內生產粉塵和有害氣體的工藝設備, 應設單獨的局部除塵和排風裝置 
6 采用分散式凈化空調系統?!?br /> a、 換鞋室、更衣室、洗消室、以及廁所、淋浴室應設通風裝置,室內靜壓值應低于有空氣潔凈度要求的生產區?!?br /> b、 送風、回風和排風的啟閉應聯鎖。系統的開啟程序為先開送風機,再開回風機和排風機。系統關閉時操作程序反之。 
c、 非連續運行的潔凈廠房,可根據生產工藝要求設置值班風機,并保證室內空氣潔凈度和壓力。

電子潔凈廠房設計 電子潔凈廠房設計
   

萬級電子潔凈廠房總體設計

電子生產潔凈廠房規劃選址要求  
1、選址時要考慮:地點周圍的自然環境和衛生條件都很好,至少沒有空氣或水污染源,還要遠離交通干道、貨場等。  
2.廠區環境要求:廠區地面、道路應平整無塵。減少露土面積或通過綠化控制粉塵的措施是合適的。垃圾和閑置物品不得露天存放。簡而言之,工廠的環境不應污染無菌電子的生產。  
3、工廠的總體布局要合理:不能對無菌電子的生產區,特別是潔凈區產生不良影響。

電子潔凈廠房設計 電子潔凈廠房設計
   

萬級電子潔凈廠房空調系統的設計

千級潔凈廠房為柔性電子潔凈廠房,車間溫濕度要求在(21±2)℃,濕度控制在(55±10)%。  
1.方案一:AHU(空調機組)+HEPA(高效送風口)  
2.方案二:MAU(新風機組)+RAU(循環機組)+HEPA(高效送風口)  
3.方案三:AHU(空調機組)+FFU(風機過濾單元)  
對比三種方案發現三種方案造價差異不大,但方案三由于使用了大量循環風且只經過一次高效過濾,在運行能耗上相比方案一和方案二消耗更少。

電子潔凈廠房設計 電子潔凈廠房設計
   

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